差动汇流环关键工艺控制及闪断问题分析

• 作者: 孙懿敏 马金仓
• 来源期刊: 测控与通信
• 学科: 工学
• 关键词: 差动汇流环 差动机构 关键工艺
• 年，卷（期）: ckytx_2016,（1）
• 页码范围: 38-43
• 页数: 6页
• 分类号: TN957
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马金仓		26	20	2.0	4.0
2	孙懿敏		6	0	0.0	0.0