Y3+掺杂BST/ZrO2复合薄膜的制备及介电性能研究

• 作者: 刘军 吴伟骏 姜楠 张娟 林鹏飞 洪玮 骆英
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 BST薄膜 BST/ZrO2复合薄膜 介电性能
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 页码范围: 1963-1969
• 页数: 7页
• 分类号: TN386
• 字数: 4124字
• 语种: 中文

摘要

运用溶胶-凝胶法在Si/SiO2/Ti/Pt基底上制备了掺杂不同量的Y3+的单层Ba0.65Sr0.35TiO3 (BST)薄膜和并联结构的BST/ZrO2复合薄膜.研究发现:当BST溶胶中掺入了适量的Y3+后,制备的单层BST的表面形貌得到改善,介电性能提高;掺杂的Y3+为1mol％时单层BST薄膜介电性能最佳,介电常数为400.53;介电损耗为0.0125.BST/ZrO2复合薄膜的电容值相对于单层BST薄膜得到明显提高,当烧结温度为750℃时,BST/ZrO2复合薄膜综合介电性能最佳,介电常数790.12;介电损耗达到0.051.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	骆英	江苏大学土木工程与力学学院	123	714	13.0	21.0
2	刘军		9	147	4.0	9.0
3	姜楠	江苏大学材料科学与工程学院	5	8	2.0	2.0
4	张娟	江苏大学材料科学与工程学院	18	86	5.0	9.0
5	洪玮	江苏大学材料科学与工程学院	4	5	1.0	2.0
6	吴伟骏	江苏大学材料科学与工程学院	6	14	2.0	3.0
7	林鹏飞	江苏大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0