MEMS超薄动态压力传感器

• 作者: 何洪涛 张建志 杨拥军 王伟忠
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 超薄封装 高频响应 抗冲击 防水
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: MENS与传感器
• 页码范围: 249-254
• 分类号: TP212|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2016.04.007

摘要

针对高铁、飞机等高速运行设施对动态压力监测提出的要求,研制了一种压阻式微电子机械系统(MEMS)超薄动态压力传感器.采用有限元分析(FEA)软件ANSYS对5种压力传感器芯片结构进行了仿真对比分析,结合MEMS加工工艺,设计的传感器芯片采用线性好、灵敏度高、固有频率高的单岛膜结构.利用硅通孔(TSV)技术对传感器抗冲击、防水、可靠性等性能进行了优化设计,采用硅微MEMS工艺加工了动态压力传感器芯片,并完成了传感器的超薄封装,最终厚度为0.9～1 mm.对传感器的基本性能、耐冲击、防水特性进行了测试,结果表明传感器的基本性能良好,非线性度为0.076％满量程输出(FSO),灵敏度为0.23 mV/kPa/V,非重复性为0.041％FSO,并且可抗20 000g冲击,达到5级防水.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张建志		9	27	4.0	5.0
2	杨拥军	中国电子科技集团公司第十三研究所	44	220	7.0	13.0
3	何洪涛	中国电子科技集团公司第十三研究所	9	53	4.0	7.0
4	王伟忠	中国电子科技集团公司第十三研究所	4	32	2.0	4.0