多晶硅装置还原／氢化布置设计优化

• 作者: 江曲远
• 来源期刊: 化工设计
• 关键词: 多晶硅 布置 还原 氢化 设计
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 设计技术
• 页码范围: 19-21
• 页数: 3页
• 字数: 3146字
• 语种: 中文

摘要

还原／氢化厂房是多晶硅装置最重要的单元之一，分析四种不同风格的工艺包炉型（ GT， PPP， MSA， SOLIMIC）的布置，找出值得研究的问题，归纳出厂房布置设计优化方案的要点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江曲远		1	0	0.0	0.0