光学相干层析成像用于缺陷检测研究

• 作者: 秦玉伟
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 测量与计量 光学相干层析成像 薄膜 缺陷检测
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 光通信与网络
• 页码范围: 49-50
• 分类号: TN16
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.jgzz.2016.01.049

摘要

为了对薄膜进行无损的缺陷检测,采用了谱域光学相干层析成像的方法,进行了理论分析和实验验证,分别获得了质量完好和存在缺陷两种薄膜样品的一维深度和二维层析图像.由二维层析图像可以对薄膜的缺陷位置进行精确定位,并且可以对缺陷尺寸进行测量.实验结果表明,谱域光学相干层析成像技术可以为无损缺陷检测提供有效的技术手段.