类富勒烯/非晶多层碳膜的制备及性能

• 作者: 刘广桥 张俊彦 董丽梅
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 类富勒烯 多层碳膜 摩擦磨损性能 力学性能
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 51-57
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2016.01.008

摘要

针对碳基薄膜存在的高应力问题,利用单极脉冲等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅衬底上制备了含氢类富勒烯/非晶层交替构成的类金刚石多层膜.采用高分辨透射电子显微镜和激光拉曼光谱仪分析了多层膜的结构特征;用X射线光电子能谱分析了薄膜的化学键状态;用纳米压痕仪测定了薄膜的硬度和弹性模量;在CSM往复式摩擦磨损试验机上考察了薄膜在大气下的摩擦学性能,同时比较了多层膜与非晶、类富勒烯薄膜的力学性能和摩擦磨损性能.结果表明:多层膜的硬度高于非晶和类富勒烯单层薄膜,达到28.78 GPa;在大气环境下与Si3N4球对摩时平均摩擦因数略低于类富勒烯单层膜,耐磨性明显优于单层非晶和类富勒烯薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张俊彦	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	59	707	12.0	25.0
2	刘广桥	兰州城市学院培黎石油工程学院	16	26	4.0	4.0
4	董丽梅	兰州城市学院培黎石油工程学院	10	8	2.0	2.0