篇名 | Characteristics of Heat-Annealed Silicon Homojunction Infrared Photodetector Fabricated by Plasma-Assisted Technique | ||
来源期刊 | 光子传感器(英文版) | 学科 | |
关键词 | Photodetectors homojunction spectral responsivity plasma-induced etching | ||
年,卷(期) | 2016,(4) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 345-350 | |
页数 | 6页 | 分类号 | |
字数 | 语种 | 中文 | |
DOI | 10.1007/s13320-016-0338-4 |