CCD像元尺寸对傅里叶变换法相位测量精度的影响

• 作者: 孟晓辰 祝连庆
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学测量 傅里叶变换分析 像元尺寸 相位测量精度 信噪比
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 光电技术应用
• 页码范围: 284-288,293
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文

摘要

针对傅里叶变换分析法中的离散过程理论分析存在的不足,对CCD采样过程中影响相位测量精度的主要因素进行了详细分析和仿真研究.讨论了CCD像元尺寸在采样过程中对傅里叶变换频谱的影响,理论分析了傅里叶变换法中CCD像元的尺寸、随机噪声和量化误差对相位测量精度的影响.计算机仿真和实验结果均表明,用傅里叶变换分析法对具有不同密度的干涉图进行分析时,CCD像元尺寸对采样后输出的光强信号的调制度、信噪比和频谱展宽均有影响,像元尺寸越大,采样后条纹信号的调制度和信噪比越低,其频谱展宽越大,经相位解算后得到的相位测量误差越大.以相位测量误差的RMS值大于0.05λ作为判断基准,信号的信噪比约为20,为扩展傅里叶变换分析法的动态测量范围提供了理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	祝连庆	北京信息科技大学光电测试技术北京市重点实验室	178	594	11.0	16.0
2	孟晓辰	北京信息科技大学光电测试技术北京市重点实验室	27	141	6.0	11.0