硅烷热分解方法中温度对硅棒质量的影响

• 作者: 于波 孙仲刚
• 来源期刊: 河北工业科技
• 学科: 工学
• 关键词: 晶体学 CVD反应器 硅烷 温度梯度 表面温度 多晶硅
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 63-67
• 页数: 5页
• 分类号: TQ127.5
• 字数: 4016字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7535/hbgykj.2016yx01012

摘要

针对采用CVD反应器的硅烷热分解工艺制备棒状高纯多晶硅的过程进行了研究.理论上研究了硅烷受热分解的过程,以及温度梯度对硅沉积的影响.从应用角度出发,研究了制备过程中棒状多晶硅致密性、能耗、硅烷转化率等方面的影响因素.通过降低杂质和改善硅棒外观,使生产的多晶硅棒达到了区熔级的标准,并成功区熔成晶.提出了在制备工艺中尚待优化的问题,指出采用侧面间接进气方式有利于沉积的均匀性和致密性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙仲刚	英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室	3	3	1.0	1.0
2	于波	英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室	1	2	1.0	1.0