单晶硅直拉炉用炭/炭埚帮的侵蚀机理探讨

• 作者: 姚西明 孟凡才 张灵玉 胡振英 赵俊 邢如鹏
• 来源期刊: 炭素
• 学科: 工学
• 关键词: 炭/炭复合材料 埚帮 侵蚀
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 综合论述
• 页码范围: 43-45,28
• 页数: 4页
• 分类号: TQ165
• 字数: 3416字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn1001-8948.2016.01-010

摘要

埚帮是单晶硅直拉炉中最重要的结构损耗件,随着直拉法热场尺寸的不断增大,主流单晶硅制造企业已经大批量采用炭/炭复合材料埚帮替代石墨埚帮.采用针刺法制备毛坯预制体,经化学气相沉积、树脂浸渍炭化增密和高温纯化处理后制成炭/炭复合材料埚帮.根据热场温度及元素分析炭/炭埚帮侵蚀破坏的机理,对使用后的炭/炭埚帮断口进行观察分析,结合反应机理进而推断影响埚帮使用寿命的主要因素,为提高炭/炭埚帮寿命的设计提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡振英		3	4	2.0	2.0
2	邢如鹏		2	3	1.0	1.0
3	姚西明		1	2	1.0	1.0
4	张灵玉		3	5	2.0	2.0
5	孟凡才		2	2	1.0	1.0
6	赵俊		1	2	1.0	1.0