硅微谐振式加速度计结构设计与仿真优化

• 作者: 庄海涵 张玲 王岩 王超 胡启方
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 交通运输
• 关键词: 谐振加速度计 DETF 结构优化 有限元分析 模态分析
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 仪表与电路
• 页码范围: 41-46
• 页数: 6页
• 分类号: U666.1
• 字数: 3055字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2016.01.008

摘要

硅微谐振加速度计以高精度的频率信号输出成为硅微传感器的研制热点之一。在分析硅微谐振式加速度计工作机理的基础上，采用一种新的基于双检测质量块和谐振音叉低附加质量的硅微谐振式加速度计结构形式。运用ANSYS对加速度计关键结构尺寸进行仿真优化，明确了关键结构尺寸的变化对加速度计性能的影响规律。结果表明：杠杆支撑梁长度、杠杆支撑梁宽度、杠杆支撑梁位置、音叉梁宽度、梳齿宽度和质量块支撑梁宽度对整体结构性能影响最大。所设计的加速度计谐振基频约为21kHz ，标度因数为92Hz/g ，在±30g加速度输入下非线性达到0.322‰。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王超		5	53	3.0	5.0
2	胡启方		6	23	3.0	4.0
3	王岩		11	34	3.0	5.0
4	张玲		10	32	3.0	5.0
5	庄海涵		4	11	2.0	3.0