硅烷的生产工艺研究进展

• 作者: 孙秋丽 李丹丹 柳彤 罗建志
• 来源期刊: 低温与特气
• 学科: 工学
• 关键词: 硅烷 合成 纯化
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: TQ117
• 字数: 4343字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2016.02.002

摘要

硅烷在现代电子工业中应用非常广泛.简介了硅烷的性质及应用;介绍了硅烷的几种合成工艺,催化歧化法是工业化生产最为可行的方法;概述了硅烷的纯化方法;对硅烷产业的发展前景进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李丹丹	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	22	21	3.0	3.0
2	罗建志	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	13	17	2.0	3.0
3	柳彤	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	15	21	2.0	3.0
4	孙秋丽	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	6	3	1.0	1.0