新型MEMS压电微能源驱动的乳化液泵站ZigBee振动监测系统研究

• 作者: 丑修建 孔龄婕 张鹏 燕乐 王二伟 陈东红
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 监测系统 振动台系统测试 乳化液泵站 ZigBee
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 电子电路设计分析及应用
• 页码范围: 692-697
• 页数: 6页
• 分类号: TP274
• 字数: 2553字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2016.03.037

摘要

为确保矿用乳化液泵站安全运行，提出一种基于新型MEMS压电能量收集器的振动状态监测系统。器件为8悬臂梁-中心质量块结构，利用MEMS加工工艺制造，总体尺寸为7000μm×7000μm×400μm；能源管理模块以LTC3331为核心设计，可稳定输出3.3 V直流电压；无线传感网络基于ZigBee技术构建，终端节点的振动加速度采样率控制在10 Hz。经振动台系统测试表明，微能源阵列输出电压最大可达1.47 V，系统供电稳定性较好；在30 m内节点具有良好的传输可靠性和实时性。