1维微纳米周期结构的散射测量建模

• 作者: 党学明 尚海
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 散射 微纳米测量 严格耦合波分析 光栅
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 激光材料和光学元件
• 页码范围: 250-253
• 页数: 4页
• 分类号: O436.2
• 字数: 2860字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.02.021

摘要

为了研究散射测量的正向测量依据,采用严格耦合波分析理论,对1 维矩形面型周期性结构衍射建模,在MATLAB环境下实现严格耦合波分析算法,并讨论了1维周期结构高度、线宽和占空比的测量特性,理论上线宽的测量可以达到纳米级分辨率. 结果表明,严格耦合波分析理论精确和高效,对1维微纳米周期结构表现出了良好的测量特性. 这为散射测量提供了科学性和可行性依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	党学明	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	22	77	4.0	8.0
2	尚海	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	2	1	1.0	1.0