真空漏率校准装置的研制和应用

• 作者: 刘兴胜 解永蓉 费渭南 陈旭
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空计 漏率 校准 装置
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 69-72
• 分类号: TB77
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2016.01.16

摘要

真空漏率校准装置可以对(105～10-4)Pa范围内的各种真空计和(10-7～10-9)Pa·m3/s的真空漏孔进行校准.该装置的特点是结构简单、量程宽、易操作和工作效率高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	解永蓉	中国工程物理研究院电子工程研究所	8	16	2.0	3.0
2	刘兴胜	中国工程物理研究院电子工程研究所	20	29	3.0	4.0
3	陈旭	中国工程物理研究院电子工程研究所	8	12	2.0	2.0
4	费渭南		3	32	2.0	3.0