氧化铝陶瓷金属化层温度分析研究

• 作者: 邹桂娟 钟伟
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铝陶瓷 金属化 工艺条件 数值模拟
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 其他
• 页码范围: 718-722
• 分类号: TG4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.06.19

摘要

工艺温度是影响陶瓷金属化质量的关键因素之一,针对高温氢炉中陶瓷金属化层温度难以实时测量的问题,本文建立氧化铝陶瓷金属化过程的三维流动传热数学模型.模型采用随温度变化的动态材料物性参数,考虑辐射、对流、传导三种传热形式,利用有限体积法求解陶瓷金属化过程中炉内的流动与传热问题,获得陶瓷金属化温度实时变化曲线.瞬态计算结果表明不同位置处最高烧结温度相差26℃,且比金属化工艺设定温度曲线低20 ～ 40℃,这为优化氢炉结构、进一步提高炉温均匀性提供参考依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹桂娟	中国工程物理研究院电子工程研究所	8	21	3.0	4.0
2	钟伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	17	63	5.0	7.0