二次离子质谱仪中二次中性粒子空间分布研究

• 作者: 刘敦一 包泽民 王利 王培智 田地 邱春玲 龙涛
• 来源期刊: 质谱学报
• 学科: 化学
• 关键词: 二次离子质谱(SIMS) 飞秒激光后电离 中性粒子
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 222-228
• 页数: 7页
• 分类号: O657.63|TH84
• 字数: 4333字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/zpxb.2016.37.03.0222

摘要

为提高二次离子质谱仪(secondary ion mass spectrometer,SIMS)的灵敏度,引入了飞秒激光电离一次离子轰击溅射产生的二次中性粒子.实验以纯银、纯铜为目标样品,利用自主研制的飞行时间质谱仪分析二次后电离的离子,研究二次中性粒子的后电离效率和空间分布.结果表明:飞秒激光电离技术可将仪器的灵敏度提高70倍以上;飞秒激光电离出的107Ag+和109Ag+的同位素丰度比值误差为0.8％;二次中性粒子的空间分布符合Maxwell-Boltzmann模型.该结果可为在设计方法上提高SIMS仪器灵敏度提供依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田地	吉林大学仪器科学与电气工程学院	94	882	13.0	26.0
2	邱春玲	吉林大学仪器科学与电气工程学院	40	186	7.0	12.0
3	刘敦一	中国地质科学院地质研究所北京离子探针中心	86	4092	31.0	63.0
4	王培智	吉林大学仪器科学与电气工程学院	8	18	3.0	4.0
5	龙涛	中国地质科学院地质研究所北京离子探针中心	29	121	5.0	10.0
6	王利		12	14	3.0	3.0
7	包泽民	吉林大学仪器科学与电气工程学院	9	14	2.0	3.0