类金刚石薄膜的摩擦性能及其应用

• 作者: 崔晓慧 张莹 彭环洋 汪建华 熊礼威
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 摩擦性能 摩擦系数 固体润滑薄膜 附着力
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 表面摩擦磨损与润滑
• 页码范围: 80-88
• 页数: 9页
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.01.013

摘要

首先从成键结构的角度分析了DLC薄膜摩擦性能的由来,然后分别从DLC薄膜的沉积工艺(包括制备方法、气源种类和掺杂元素)、摩擦环境条件和基底材料选择等三方面入手,讨论了影响DLC薄膜摩擦性能的主要因素及其影响规律. 经过总结发现,通过调节DLC薄膜的沉积工艺可以改变DLC薄膜中sp2 杂化碳的含量以及氢的含量,进而影响DLC薄膜的摩擦性能;真空、惰性气体和低湿环境有利于获得更好的摩擦效果;过渡层和偏压有利于提高DLC薄膜与基底之间的附着力,其摩擦性能也会得到提升. 最后对DLC薄膜在机械加工及耐磨器件、光学和电子保护以及生物医学领域的应用进行了综述,并对应用过程中存在的两大问题——DLC薄膜的内应力和热稳定性进行了分析,归纳了一些具体的解决方案,并对DLC薄膜的发展趋势进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉工程大学材料科学与工程学院	123	698	14.0	19.0
3	熊礼威	武汉工程大学材料科学与工程学院	37	243	9.0	14.0
5	张莹	武汉工程大学材料科学与工程学院	8	66	5.0	8.0
7	崔晓慧		8	47	3.0	6.0
8	彭环洋	武汉工程大学材料科学与工程学院	5	25	2.0	5.0