多晶硅片表面缺陷的研究与定向凝固多晶硅锭热场模拟

• 作者: 吴元庆 周涛 张鹏 王泽来 赵洋 边玉强 陆晓东
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 太阳能电池 定向凝固 抛光 缺陷 热场模拟
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 32-36
• 页数: 5页
• 分类号: TM914.4
• 字数: 3599字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2016.07.008

摘要

结合实际工艺模拟多晶硅铸锭生产过程中的热场分布情况，研究了该热场对所生产多晶硅片缺陷分布的影响。同时采用对多晶硅片化学腐蚀抛光处理和位错刻蚀液处理之后的表面缺陷形貌表征的方法，以及观察扫描电镜（SEM）视角下其表面微结构，研究了采用定向凝固多晶硅锭工艺所得的多晶硅片表面缺陷情况。结果显示模拟该生产过程中热场分布情况对多晶硅片缺陷的影响和实验所得的结果相吻合。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹏	渤海大学新能源学院	24	36	3.0	4.0
2	周涛	渤海大学新能源学院	59	88	4.0	6.0
3	陆晓东	渤海大学新能源学院	76	99	4.0	6.0
4	吴元庆	渤海大学新能源学院	48	41	3.0	4.0
5	赵洋	渤海大学新能源学院	20	24	3.0	4.0
6	王泽来	渤海大学新能源学院	17	16	3.0	3.0
7	边玉强		1	5	1.0	1.0