极高真空测量中微小离子流检测技术研究

• 作者: 孙健 张琦 张虎忠 李得天 王永军
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 极高真空 测量 微小离子流 检测
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 研 究 报 告
• 页码范围: 75-80
• 页数: 6页
• 分类号: TB77
• 字数: 2966字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2016.02.003

摘要

为解决极高真空测量中电离真空计微小离子流的检测难题，设计采用精密运算放大器组成电流电压转换结构，配合低通滤波、零点调节以及相位补偿等技术，实现了10-14 A微小离子流的准确检测。通过与国内外不同型号电离真空计进行试验测试，验证了该设计电路能够准确检测10-9 Pa极高真空下的电离真空计离子流，为实现极高真空测量设备国产化提供了技术参考。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天		55	149	6.0	9.0
2	王永军		5	6	2.0	2.0
3	张虎忠		9	16	2.0	3.0
4	孙健		3	4	1.0	2.0
5	张琦		2	1	1.0	1.0