接近表面磁力显微镜成像方法的研究

• 作者: 李正华 李翔 马晓丽
• 来源期刊: 电子显微学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁记录 磁畴测量 分辨率
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: [研究论文]
• 页码范围: 1-8
• 页数: 8页
• 分类号: TH742
• 字数: 4458字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6281.2016.01.001

摘要

在当今信息社会时代，需要存储的信息总量正在急剧增加。与光存储技术和半导体存储技术相比而言，磁记录技术占领着几乎90％的存储市场。磁力显微镜( magnetic force microscope，MFM)的发展与磁记录工业密切相关。然而，从1987年至今，MFM的分辨率仍然停留在50~10 nm的水平，传统思路已经很难再实现突破。本论文基于MFM探针的窄带－频率调制机理，发展接近表面磁力显微镜方法，实现对纳米结构中磁畴状态的超高分辨率成像。该工作的关键在于合理利用MFM探针的窄带－频率调制机理，优化设计动态信号处理模块，精确控制探针－样品间距(5 nm 以下)，独立分离磁力像和表面像(磁力像为交流信号，原子力像为直流信号)，由此测量和解释纳米尺度磁畴结构。该方面的工作对于纳米磁畴结构的设计、核心磁性器件的研究起到非常关键的作用，为下一代磁记录技术的发展提供了新型的有力工具。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李翔	上海理工大学材料科学与工程学院	22	38	4.0	5.0
2	李正华	大连民族大学物理与材料工程学院	8	4	1.0	1.0
3	马晓丽	大连民族大学物理与材料工程学院	1	2	1.0	1.0