表面等离子体超衍射光学光刻

• 作者: 王长涛 罗云飞 罗先刚 赵泽宇 高平
• 来源期刊: 科学通报
• 关键词: 表面等离子体 光学光刻 超分辨 衍射极限
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 评述
• 页码范围: 585-599
• 页数: 15页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/N972015-01038

摘要

由于光波衍射特性,传统光学光刻面临分辨力衍射极限限制,成为传统光学光刻技术发展的原理性障碍.表面等离子体(surface plasmon,SP)是束缚在金属介质界面上的自由电子密度波,具有突破衍射极限传输、汇聚和成像的独特性能.近年来,通过研究和利用SP超衍射光学特性,科研人员提出和建立了基于SP的纳米干涉光刻、成像光刻、直写光刻等方法,在紫外光源和单次曝光条件下,获得了突破衍射极限的光学光刻分辨力.目前,基于SP成像结构,实验中获得了22 nm(～1/17波长)最高SP成像光刻线宽分辨力水平.SP将为发展高分辨、低成本、高效、大面积纳米光学光刻技术提供重要方法和技术途径.本文系统综述了SP光学光刻技术研究发展情况,总结和分析了技术发展现状、存在问题,并对其发展趋势和前景进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗先刚	中国科学院光电技术研究所	52	315	9.0	15.0
2	高平	中国科学院光电技术研究所	13	55	4.0	7.0
3	赵泽宇	中国科学院光电技术研究所	13	47	4.0	6.0
4	王长涛	中国科学院光电技术研究所	14	65	5.0	7.0
5	罗云飞	中国科学院光电技术研究所	1	0	0.0	0.0