HFCVD法高速生长金刚石的研究进展

• 作者: 刘伟 曹阳 满卫东
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 热丝CVD 金刚石 生长速率
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 70-74,80
• 页数: 6页
• 分类号: TB383|O484
• 字数: 3511字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2016.02.002

摘要

CVD金刚石有着接近甚至是超过天然金刚石的一些优异性能，如高机械强度、高热传导率、低摩擦系数等，使得对CVD金刚石的研究吸引着众多研究者们的不懈追求。文章就热丝CVD法（HFCVD），阐述了近几年来为了提高金刚石生长速率对传统法做出的改进以及其相应的改进后的效果，解释了这些改进对推进CVD金刚石工业化的意义并就这一方面在未来的发展作出展望。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	满卫东	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	45	370	11.0	16.0
2	刘伟	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	13	7	2.0	2.0
3	曹阳	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	1	1	1.0	1.0