LED行业用废氨气处理技术

• 作者: 孙猛 李荷庆 金向华
• 来源期刊: 低温与特气
• 学科: 工学
• 关键词: 氨气 金属有机物化学气相沉积法 尾气处理 LED 环境污染
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 43-46
• 页数: 4页
• 分类号: TQ028
• 字数: 2882字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2016.01.010

摘要

MOCVD金属有机物化学气相沉积法制备LED外延技术产生的尾气危害较大,需要进行处理才能排放. 对现有的几种尾气处理技术进行分析,指出各自存在的优点和缺点. 从回收利用和节能减排两个角度出发,对原有方法进行了改进,提出四级尾气吸收的新型尾气处理技术,实现了氨气的回收利用,降低对大气的污染.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙猛		4	7	2.0	2.0
2	金向华		7	11	2.0	2.0
3	李荷庆		4	8	2.0	2.0