亚波长金属块阵列的太赫兹传感芯片

• 作者: 夏良平 崔洪亮 杜春雷 杨忠波 毛洪艳 王思江 魏东山
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 亚波长金属结构 正交光刻 太赫兹 传感
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: ?微纳光学?
• 页码范围: 82-87
• 页数: 6页
• 分类号: O433.1|O433.4
• 字数: 1828字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2016.01.015

摘要

光波波段的生化传感器件已很常见且可实现单分子探测，但由于光波波长在纳米量级，制作出的器件的结构尺寸小、加工难度大、传感重复性较差。因此，本文提出一种亚波长金属块阵列结构的太赫兹(Terahertz, THz)传感芯片，在理论上基于法布里-珀罗(FP)共振建立了其传感模型，结合有限元方法分析了亚波长金属结构局域表面等离子体共振对其传感灵敏度的影响规律。然后采用正交光刻工艺制作出了结构均一的传感芯片，传感实验表明，该芯片对0.025 mol/L的D(+)-葡萄糖水溶液可产生53 GHz的频移量，传感灵敏度高，有望应用于高灵敏的太赫兹生物传感。