利用3D技术列印打造低成本MEMS

• 来源期刊: 集成电路通讯
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 3D技术 低成本 利用 生产成本 微机电系统 制造技术 半导体
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 页码范围: 13-13
• 页数: 1页
• 分类号: TH-39

摘要

当今的微机电系统（MEMS）所使用的量产制造技术仰赖昂贵的半导体微影设备。因此，晶片的生产通常需要存在一个相当大的市场，才足以涵盖某种特定元件的生产成本要求，以及实现商品化的可能性。