基于勒让德多项式各项系数拟合的柱面镜面形检测研究

• 作者: 杨醒 王占山
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 柱面镜 勒让德多项式 最小二乘法 像差
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 11-15
• 页数: 5页
• 分类号: TN253
• 字数: 2926字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2016.01.003

摘要

超薄玻璃热成形技术是目前国际上研制X射线掠入射天文成像望远镜的重要技术之一,超薄玻璃圆柱面镜片面形的高精度检测是实现超薄玻璃热成形的关键.围绕我国高能X射线掠入射天文望远镜研制对高面形精度的超薄玻璃柱面镜的需求,采用勒让德多项式对柱面镜面形的测量数据进行拟合,利用勒让德多项式各项系数与特定的几何像差的对应性,通过拟合勒让德多项式各项的系数,获得了待测柱面镜面形的特定几何像差,为全面评价柱面镜面形质量提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王占山	同济大学物理科学与工程学院先进微结构材料教育部重点实验室	92	640	14.0	19.0
2	杨醒	同济大学物理科学与工程学院先进微结构材料教育部重点实验室	1	5	1.0	1.0