一种耐高温紫外正型光刻胶及光刻工艺

• 作者: 刘建国 曾晓雁 艾骏
• 来源期刊: 科学通报
• 关键词: 紫外正型光刻胶 酰胺-酰亚胺树脂 光刻工艺
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 610-615
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/N972015-01028

摘要

光刻胶作为光刻技术中的关键性基础材料,其配方组成和光刻工艺对光刻胶的分辨率等性能有重要影响.以自制的酰胺-酰亚胺聚合物作为成膜树脂,与感光剂2,1,5-磺酰氯的衍生物等其他成分按一定比例配制成光刻胶,通过研究不同配比、不同光刻工艺条件下的光刻性能,得到了该光刻胶的最佳配方组成及最佳光刻工艺条件.该光刻胶的成像反差可达到约3.35;在最佳配方组成和最佳光刻工艺条件下,采用接触式曝光,可以获得最大约1μm的线宽分辨率,同时该光刻胶具有良好的耐热性,270℃高温下坚膜30 min,光刻图形未发现明显塌边现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾晓雁		144	2006	25.0	36.0
2	刘建国		117	790	13.0	21.0
3	艾骏		3	8	1.0	2.0