SOI基RCE光电探测器谐振腔结构的设计与优化

• 作者: 刘倩文 程彩莉
• 来源期刊: 光电子
• 学科: 工学
• 关键词: RCE光电探测器 SOI 谐振腔 量子效率
• 年，卷（期）: gdz_2016,（4）
• 页码范围: 131-138
• 页数: 8页
• 分类号: TN3

摘要

由于CMOS光电探测器存在量子效率低、工作带宽窄等性能问题,为实现更高量子效率的CMOS光电探测器,结合工艺实现性,本文构建了一种新型的SOI CMOS工艺可兼容的光电探测器谐振腔结构。基于底镜采用一层1/4波长(850 nm光波长)奇数倍厚度SiO2,顶镜采用1/4波长偶数倍厚度SiO2的DBR反射镜,形成的SOI基谐振腔结构适用于光通信850 nm光波长的RCE PD器件。数值仿真结果表明,RCE PD器件比CMOS PD器件提高了量子效率,验证了谐振腔结构的正确性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程彩莉	杭州电子科技大学电子信息学院	1	0	0.0	0.0
2	刘倩文	杭州电子科技大学电子信息学院	1	0	0.0	0.0