纳米分辨微小光斑光强分布检测系统设计

• 作者: 刘仲之 单秋霞 董祥美 马振新
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 光强分布检测 微小光斑 纳米分辨率
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 字数: 1735字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2016.01.002

摘要

介绍了现有的微小光斑测量技术,针对纳米分辨率检测精度要求,对纳米分辨微小光斑光强分布检测技术进行深入研究,设计和构建了具有纳米分辨的微小光斑光强分布检测系统.利用该检测系统进行了低数值孔径弱聚焦下所形成的微光场光强分布检测实验,得到较好的光强分布图.实验结果表明,该检测系统具有可靠性高、稳定性好、便于操作等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董祥美	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	21	42	3.0	5.0
2	单秋霞	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	3	6	2.0	2.0
3	刘仲之	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	2	1	1.0	1.0
4	马振新	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	3	2	1.0	1.0