周期性微结构的纳秒激光四光束干涉烧蚀研究

• 作者: 孙洪波 曹小文 李乾坤 王磊 陈岐岱
• 来源期刊: 科学通报
• 关键词: 激光烧蚀 四光束干涉 相移
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 616-621
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/N972015-00889

摘要

多光束干涉是一种快速制备大面积周期性微纳结构的简易方法.本文基于四光束干涉烧蚀技术,利用纳秒激光在硫化锌衬底上无掩模烧蚀制备大面积的结构阵列;并详细研究了结构形貌随曝光时间的演化规律;利用四光束干涉理论,重点研究了四光束干涉时角度误差引起的相移对于结构类型的影响;结合我们近几年的研究工作,讨论多光束干涉烧蚀面临的挑战及展望.