溅射功率对PET柔性衬底上制备ZnO：Ga薄膜的影响

• 作者: 徐承章 胡克艳 胡跃辉 范建斌 郭胜利 陈义川
• 来源期刊: 陶瓷学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 聚对苯二甲酸乙二酯(PET) 溅射功率 内应力
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与探索
• 页码范围: 152-157
• 页数: 6页
• 分类号: TQ174.75
• 字数: 3366字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13957/j.cnki.tcxb.2016.02.008

摘要

在室温条件下，通过射频磁控溅射法在柔性衬底PET上制备ZnO：Ga(GZO)透明导电薄膜。主要研究了溅射功率对薄膜结构、内应力、光学和电学性能的影响，并对样品进行了相关测试。XRD测试表明GZO薄膜具有六角纤维矿结构的同时具有良好的C轴择优取向生长，但是衍射角出现明显偏移，表明薄膜内部存在较大应力；SEM测试显示薄膜表面晶粒具有良好的均匀均性和致密性，随着溅射功率增加，晶粒尺寸按照一定规律变化。薄膜的平均透过率在85%左右，电阻率最低达到7.1×10-3?·cm。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡跃辉	景德镇陶瓷大学机械电子工程学院	54	127	6.0	8.0
2	陈义川	景德镇陶瓷大学机械电子工程学院	38	96	6.0	7.0
3	徐承章	景德镇陶瓷大学机械电子工程学院	2	3	1.0	1.0
4	胡克艳	景德镇陶瓷大学机械电子工程学院	17	38	4.0	5.0
5	范建斌	景德镇陶瓷大学机械电子工程学院	1	1	1.0	1.0
6	郭胜利	景德镇陶瓷大学机械电子工程学院	3	7	2.0	2.0