利用3D列印打造低成本MEMS

• 来源期刊: 半导体信息
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 低成本 3D 利用 生产成本 微机电系统 制造技术 半导体
• 年，卷（期）: bdtxx_2016,（1）
• 页码范围: 21-22
• 页数: 2页
• 分类号: TH-39

摘要

当今的微机电系统（MEMS）所使用的量产制造技术仰赖昂贵的半导体微影设备。因此，晶片的生产通常需要存在一个相当大的市场，才足以涵盖某种特定元件的生产成本要求，以及实现商品化的可能性。