基于Z-力敏元件的测力研究

• 作者: 刘绪坤 单薏 杨嘉祥 江东 王德玉
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 非线性补偿 温度补偿 零点漂移
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 182-187
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 字数: 3819字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2016.02.006

摘要

Z-力敏元件是一种新型的半导体器件，输出为与压力应变有一定对应关系的频率量，该器件具有分散性、非线性、温度特性、零点漂移等特性，须通过硬件或补偿软件才能实际应用。本文对Z-力敏元件的特性进行了研究，通过三次样条插值方法实现力敏元件的线性化，通过二次插值方法实现温度补偿，通过加载时重量突变编程锁定的方法解决零点漂移。实验表明，通过数字化补偿后Z-力敏元件可输出与被测压力应变成正比的线性输出，该研究为Z-力敏元件的实际应用奠定了基础。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨嘉祥	哈尔滨理工大学电气与电子工程学院	66	427	12.0	15.0
2	江东	哈尔滨理工大学电气与电子工程学院	36	122	7.0	9.0
3	单薏	哈尔滨理工大学电气与电子工程学院	13	69	6.0	8.0
4	刘绪坤	哈尔滨理工大学电气与电子工程学院	9	29	3.0	5.0
5	王德玉	哈尔滨理工大学电气与电子工程学院	12	43	4.0	6.0