宽带多齿谐振光栅反射镜的研究

• 作者: 吴华明 徐欢欢 段军红 肖文波 肖永生 马林飞 黄丽贞
• 来源期刊: 应用物理
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射光栅 泄露模谐振 反射镜
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 页码范围: 167-174
• 页数: 8页
• 分类号: TN2

摘要

本文中,基于单层多齿光栅结构,我们设计、优化了一种高性能的谐振光栅反射镜。严格耦合波分析算法表明,对于TE偏振光,此结构在1.47~2.1 μm宽谱范围内,其0级反射率大于98.5% (R0 > 98.5%),在中心波长1.8 μm处,角度带宽约为28?。另外,我们还分析了此器件的工艺容差性能。