近场微波显微镜测量介电常数的研究

• 作者: 吴喆 张兆镗 曾葆青 杨山
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 近场微波显微镜 介电常数 定量测量
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 62-63,68
• 页数: 3页
• 分类号: TN107
• 字数: 1585字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了近场微波显微镜(NSMM)的主要结构及其进行介电常数定量测量的方法.本文基于有限元分析方法,采用HFSS和COMSOL软件对NSMM进行仿真,研究了探针和样品间距和样品介电常数引起的测量影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张兆镗	电子科技大学物理电子学院	16	126	5.0	11.0
2	曾葆青	电子科技大学物理电子学院	50	149	7.0	8.0
3	吴喆	电子科技大学物理电子学院	11	18	2.0	3.0
4	杨山	电子科技大学物理电子学院	2	5	1.0	2.0