四元阵型MEMS矢量水听器微结构设计

• 作者: 刘源 张国军 张文栋 王续博 郭静
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 左右舷模糊 Ansys 矢量水听器
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 171-176
• 页数: 6页
• 分类号: TB565.1
• 字数: 2943字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2016.02.004

摘要

针对当前的MEMS矢量水听器存在左右舷模糊问题，提出了一种四元阵型MEMS矢量水听器微结构。首先，从理论上分析了当前的MEMS矢量水听器左右舷模糊问题，从而提出了可消除左右舷模糊的四元阵型MEMS矢量水听器微结构。其次，对四元阵型MEMS矢量水听器微结构进行有限元仿真，声源方向可以通过分析各阵元应力分布情况而唯一确定。最后，通过驻波声场试验验证其可行性，结果表明，该微结构可实现左右舷分辨，有效消除左右舷模糊。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	75	334	8.0	13.0
5	张文栋	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	167	1172	16.0	26.0
6	刘源	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	6	15	2.0	3.0
7	郭静	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	5	13	2.0	3.0
11	王续博	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	2	10	2.0	2.0