一种采用穴番-A敏感膜的新型声表面波瓦斯传感器的研究

• 作者: 何世堂 张彩红 潘勇 王文 胡浩亮 董川
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 瓦斯传感器 穴番-A 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 166-170
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 2373字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2016.02.003

摘要

本文利用笼形超分子材料穴番-A对甲烷分子的特异性包合作用，提出了一种能够在室温下工作的采用穴番-A敏感膜的新型声表面波瓦斯传感器。设计研制了中心频率为300 MHz的低损耗、高Q值SAW谐振器，并以所研制的谐振器构成双通道差分振荡器。分别以点涂法和旋涂法在传感通道SAW谐振器表面进行了敏感膜的镀膜。通过实验观察对比了采用两种镀膜方式的SAW瓦斯传感器在常温下对5%甲烷气体的响应。实验结果显示点涂镀膜的传感器响应约为1 kHz，远大于旋涂镀膜方式。AFM表面形貌表征显示了敏感膜表面粗糙度是造成这一差异的主要原因。实验还研究了传感器对不同浓度甲烷气体的响应，结果表明传感器响应随气体浓度降低而减小，两者存在良好的线性关系，测试灵敏度为205 Hz/%，检测下限约为0.2%。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董川		230	1483	19.0	28.0
2	潘勇	防化研究院第四研究所	50	332	9.0	15.0
3	王文	中国科学院声学研究所	81	464	12.0	18.0
4	何世堂	中国科学院声学研究所	74	236	8.0	12.0
5	张彩红		12	30	3.0	5.0
6	胡浩亮	中国科学院声学研究所	2	11	2.0	2.0