三维Ni亚微米柱阵列的制备及微结构研究

• 作者: 刘春海 张伟 曾宪光 杨瑞嵩 王龙 蒲国 陈建 陈昶
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 化学
• 关键词: AAO 模板 磁控溅射 Ni亚微米柱阵列 晶体结构 表面形貌
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 研究?开发
• 页码范围: 4125-4128
• 页数: 4页
• 分类号: P754.1|O646.21
• 字数: 2298字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.04.025

摘要

利用磁控溅射法在阳极氧化铝(AAO)模板上制备了 Ni 亚微米柱阵列,研究了不同退火温度对 Ni 亚微米柱阵列结构稳定性的影响。通过原子力显微镜(AFM)、X 射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)等对不同退火温度下制备的Ni亚微米柱阵列的晶体结构以及表面形貌进行了表征。结果表明,磁控溅射法制备的Ni亚微米柱阵列具有多晶的面心立方结构,排列规则、粗细均匀,其直径约为400 nm。经400℃退火后,开始形成Al1．1 Ni0．9和AlNi金属间化合物。500℃退火后,出现空心Ni亚微米柱,且Ni亚微米柱体积膨胀变粗。600℃退火后,Ni亚微米柱部分脱落。