一种低成本自适应的MEMS陀螺温度补偿方法

• 作者: 王帆 董冰玉 许鹏
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 陀螺 温度补偿 自适应算法 低成本
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 535-540,562
• 分类号: TH703|TN306
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2016.08.007

摘要

介绍了一种低成本自适应的微机电系统(MEMS)陀螺温度补偿方法.基于自主研发的一款集成化硅MEMS振动陀螺,分析了陀螺温度漂移的原因.研究了降低MEMS陀螺温度误差的方法,设计了一种基于Atmega32单片机的低成本补偿电路,建立了陀螺温度补偿模型,提出了补偿方法.该方法通过变温法采集MEMS陀螺输出,对信号进行快速傅里叶变换(FFT)滤波处理,然后采用一种自适应算法,获取陀螺输出曲线的拐点.基于这些拐点,对MEMS陀螺全温区(-40～60℃)零偏特性进行分段插值补偿,同时采用三点插值法对标度因数进行补偿.测试结果表明,陀螺全温区零偏稳定性由补偿前的1116.5°/h提升到补偿后的21.9°/h,标度因数温度系数由补偿前的5.286×10-4/℃提升到补偿后的3.7×10-5/℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王帆	中国电子科技集团公司第十三研究所	5	18	3.0	4.0
2	许鹏	中国电子科技集团公司第十三研究所	4	32	4.0	4.0
3	董冰玉	中国电子科技集团公司第十三研究所	1	11	1.0	1.0