多晶硅废气淋洗系统的应用

• 作者: 梁景坤 章华 邓亮
• 来源期刊: 云南化工
• 学科: 地球科学
• 关键词: 多晶硅 废气淋洗 刮板机
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 探索应用
• 页码范围: 53-54,67
• 页数: 3页
• 分类号: X701
• 字数: 1544字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-275X.2016.02.015

摘要

废气淋洗装置是多晶硅生产线的重要组成部分。本套废气淋洗装置充分改进了传统西门子法制取多晶硅废气淋洗的工艺，实现了机械化、自动化，具有自动化程度高，氯硅烷处理能力大，工艺稳定等优点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓亮		1	2	1.0	1.0
5	章华		1	2	1.0	1.0
9	梁景坤		1	2	1.0	1.0