MEMS光开关阵列的设计与应用

• 作者: 李晶娣 柳华勃 王小齐 赵振海 赵磊 马优恒
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 防空导弹系统 反应时间 MEMS光开关阵列 双层静电梳齿结构 气膜阻尼
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 光学器件与制造
• 页码范围: 452-455
• 页数: 4页
• 分类号: TN202|TH703
• 字数: 2088字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201637.0305004

摘要

针对如何缩短防空导弹系统反应时间的问题,设计了一种MEMS(micro electro mechanical system,微机电系统)光开关阵列,用于控制防空导弹系统各分系统模块之间的信号传输.该光开关阵列由8组双层静电梳齿结构的光开关组成,每组光开关均控制一个防空导弹系统子模块的通断.根据拉格朗日-麦克斯韦方程,建立系统的机电动力学模型,确定质量、弹性系数、电容、气膜阻尼等主要参数.仿真结果表明:MEMS光开关的响应时间为0.627 ms,稳态位移为4.724 μm,最大位移为6.801 μm,将相同阶段的反应时间缩短为原先的1/4.由此可以得出结论:MEMS光开关阵列不仅缩短了防空导弹系统的反应时间,而且保证了系统的稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王小齐		6	20	3.0	4.0
2	柳华勃	西安邮电大学理学院	10	19	3.0	3.0
3	赵磊		5	12	2.0	3.0
4	李晶娣		4	16	2.0	4.0
5	赵振海		6	12	2.0	3.0
6	马优恒		6	17	3.0	3.0