基于V-F变换的硅压阻压力传感器的处理电路

• 作者: 张燕琴 景标 邢维巍
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅压阻压力传感器 温度自补偿 V-F变换 电桥电阻 电荷平衡
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 161-165
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2653字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2016.02.002

摘要

针对硅压阻压力传感器提出了一种基于电桥本身参数的温度自补偿方法，并设计了一种差分输入、双参数输出的高精度处理电路用以获得电桥参数。该电路用简单元件搭建差分输入的电荷平衡式V/F转换器，根据不同组态的频率输出解算电桥参数。该电路巧妙地利用差分输入方式消除了共模电压引起的误差，巧妙借用参考电阻消除了基准频率的影响，最终的输出频率只与被测量和参考电阻有关。经实验验证，电桥电阻的测量精度能达到0.0068%，经补偿后的压力传感器精度可达0.039%，相比补偿之前提高了一个数量级。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢维巍	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	48	176	7.0	11.0
2	张燕琴	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	2	13	2.0	2.0
3	景标	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	2	13	2.0	2.0