基于亚波长多齿光栅结构的双功能偏振选择分束器的研究

• 作者: 吴华明 徐欢欢 段军红 肖文波 肖永生 马林飞 黄丽贞
• 来源期刊: 应用物理
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射光栅 泄露模谐振 偏振分束器
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 页码范围: 193-203
• 页数: 11页
• 分类号: TN2

摘要

本文主要介绍了一种基于单层微纳多齿谐振光栅的双功能偏振分束器。严格耦合波理论分析表明,在垂直入射时,对于TE偏振光(电场平行于光栅槽线)来说,该器件在1.46~1.58 μm宽谱范围内,其反射率大于97%;而对于TM偏振光(磁场平行于光栅槽线)来说,该结构在1.55 μm波长处,能够实现50/50反射和透射分束比。此外,为了分析此器件对结构参数变化的响应,我们还分析了此结构的工艺容差性。