PLD法制备Ba0.85 Ca0.15 Ti0.9 Zr0.1O3薄膜及其性能研究

• 作者: 崔瑞瑞 张弛 张田田 邓朝勇
• 来源期刊: 贵州大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光沉积法 Ba0.85 Ca0.15 Ti0.9 Zr0.1O3 剩余极化值 矫顽场
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: ?基础科学研究及应用? -- 数学?物理?化学?农业科学
• 页码范围: 23-27
• 页数: 5页
• 分类号: O484.42
• 字数: 3221字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15958/j.cnki.gdxbzrb.2016.01.06

摘要

本文采用传统的高温固相反应法制备Ba0.85 Ca0.15 Ti0.9 Zr0.1O3( BCTZ)陶瓷靶材,并利用脉冲激光沉积(PLD)法,在生长有SrRuO3底电极的SrTiO3(100)衬底上沉积BCTZ(BCTZ/SRO/STO)薄膜。通过对其生长工艺的探索,在沉积温度780℃,氧压13 Pa,靶间距48 mm,脉冲激光频率2 Hz,激光能量200 mJ的条件下可获得高择优取向、高结晶度的BCTZ薄膜。在此工艺条件下,制备不同膜厚的BCTZ薄膜。进一步利用X射线衍射仪( XRD)、原子力显微镜( AFM)、台阶仪、铁电测试仪等手段对薄膜的微观结构、厚度和铁电性能进行表征分析。结果表明,所制备薄膜的表面粗糙度随着薄膜厚度的增加而变大。薄膜的铁电性呈现出与薄膜厚度的强相关性,即随着薄膜厚度的增加,BCTZ薄膜的剩余极化值(2Pr)逐渐增大,矫顽场强度(Ec)逐渐减小。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张弛	贵州大学大数据与信息工程学院贵州省电子功能复合材料特色重点实验室	11	18	2.0	4.0
2	崔瑞瑞	贵州大学大数据与信息工程学院贵州省电子功能复合材料特色重点实验室	23	41	3.0	6.0
3	邓朝勇	贵州大学大数据与信息工程学院贵州省电子功能复合材料特色重点实验室	62	194	9.0	12.0
4	张田田	贵州大学大数据与信息工程学院贵州省电子功能复合材料特色重点实验室	1	0	0.0	0.0