512×512元帧转移EMCCD图像传感器

• 作者: 刘芳 李金 汪朝敏 白雪平 郑渝 陈于伟
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: EMCCD 帧转移 倍增增益 探测灵敏度
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 300-304
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2438字
• 语种: 中文

摘要

采用埋沟、三层多晶硅、两次金属工艺,研制出正照EMCCD器件.器件的像元尺寸16μm×16μm.器件在-20℃下工作,读出频率10 MHz,倍增增益可达1000倍以上,探测灵敏度5×10-4 lx.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘芳	中国电子科技集团公司第四十四研究所	27	37	4.0	5.0
2	李金	中国电子科技集团公司第四十四研究所	3	5	2.0	2.0
3	白雪平	中国电子科技集团公司第四十四研究所	1	2	1.0	1.0
4	郑渝	中国电子科技集团公司第四十四研究所	1	2	1.0	1.0
5	陈于伟	中国电子科技集团公司第四十四研究所	1	2	1.0	1.0
6	汪朝敏	中国电子科技集团公司第四十四研究所	1	2	1.0	1.0