表面微观形貌测量方法探讨

• 作者: 冯世绪 刘哲建 吴凤和 王加春 赵岩 郭保苏 陈建超
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 表面微观形貌 接触法 非接触法 准接触法
• 年，卷（期）: 2016,（z1）
• 所属期刊栏目: 计量应用
• 页码范围: 204-211
• 页数: 8页
• 分类号: TB92
• 字数: 5972字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2016.z1.46

摘要

综述了各类表面微观形貌测量方法,分析了它们各自的原理和优缺点,针对各种方法列举出了典型的商品化仪器,提出了目前存在的关键问题,并对各种方法的未来研究发展方向进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴凤和	燕山大学机械工程学院	69	521	11.0	20.0
2	王加春	燕山大学机械工程学院	27	134	8.0	10.0
3	赵岩	燕山大学机械工程学院	18	85	4.0	9.0
4	郭保苏	燕山大学机械工程学院	10	22	3.0	4.0
5	陈建超	燕山大学机械工程学院	4	9	1.0	3.0
6	冯世绪	燕山大学机械工程学院	2	9	1.0	2.0