多孔硅基WO3气敏传感器的制备与性能研究

• 作者: 武雅乔 田玉明 胡明 魏杏
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: NO2气敏传感器 多孔硅 复合结构
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 页码范围: 1865-1870
• 页数: 6页
• 分类号: TM23
• 字数: 3465字
• 语种: 中文

摘要

以钨酸钠和氯化钠为原料,采用水热法在硅基多孔硅上原位生长WO3纳米棒薄膜,制成p型多孔硅基-n型WO3复合结构气敏传感器.为了获得最大比表面积的复合形貌,详细研究了水热反应时间和温度对多孔硅基WO3复合结构显微组织表面形貌的影响.利用扫描电镜、粉末衍射等表征手段测试并分析了多孔硅基表面WO3纳米棒薄膜的形貌以及晶体结构,并测试了复合结构传感器在不同工作温度下的气敏响应特性,结果表明:该气敏传感器在室温下便对有毒气体NO2具有高灵敏度以及稳定的重复性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田玉明	太原科技大学材料科学与工程学院	51	185	7.0	11.0
2	胡明	天津大学电子信息工程学院	139	1336	19.0	28.0
3	武雅乔	太原科技大学材料科学与工程学院	13	12	3.0	3.0
4	魏杏	太原科技大学材料科学与工程学院	1	3	1.0	1.0