烧结温度对放电等离子烧结法制备IGZO靶材的影响研究

• 作者: 肖松文 苏文俊 袁振宇 袁铁锤 陈坚
• 来源期刊: 矿冶工程
• 学科: 工学
• 关键词: IGZO靶材 放电等离子烧结法 烧结温度
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 材料
• 页码范围: 114-116
• 页数: 3页
• 分类号: TG115
• 字数: 2516字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-6099.2016.01.029

摘要

以预烧结复合粉体为原料,采用放电等离子烧结(SPS)方法制备IGZO靶材,并采用密度测定、XRD、SEM等手段对不同烧结温度条件下的靶材结构性能进行了表征分析.结果表明,在一定的烧结温度区间,随烧结温度升高,烧结体相对密度增加,体积电阻率降低,烧结温度1 100℃条件下烧结体的结构性能较好,相对密度97.44％,体积电阻率3.66 mΩ/cm3.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖松文		39	508	14.0	22.0
2	陈坚		14	93	5.0	9.0
3	袁铁锤	中南大学粉末冶金研究院	59	353	11.0	15.0
4	苏文俊	中南大学粉末冶金研究院	3	7	2.0	2.0
5	袁振宇		1	3	1.0	1.0