湿法后道清洗药液及设备的研究

• 作者: 彭利
• 来源期刊: 中国新通信
• 关键词: 湿法清洗 有机药液 槽式 单片式 滚筒式
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 互联网+健康 Internet Health
• 页码范围: 129-129,130
• 页数: 2页
• 字数: 1067字
• 语种: 中文

摘要

在半导体湿法工艺中，后道清洗因使用有机药液而与前道有着明显区别。本文主要将以湿法清洗后道工艺几种常用药液及设备进行对比研究，论述不同药液与机台的清洗原理，清洗特点与清洗局限性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭利	上海交通大学微电子学院	1	0	0.0	0.0